3D测量系统 MicroProf® FE

晶圆用

FRT MicroProf® FE是FormFactor的标准、全自动2D/3D晶圆计量工具。它将成熟的MicroProf 300的能力与设备前端模块（EFEM）内的晶圆处理系统结合起来。MicroProf FE具有完全符合SEMI标准的计量解决方案和几乎免维护的硬件组件，提供高产量检测，是任何前端HVM工厂的计量解决方案。 除了标准配置，FRT MicroProf FE还可以配备许多额外的功能，这些功能也可以在以后加装。