测量探头 Infinity Waveguide

电阻

随着硅CMOS和SiGe技术的出现，器件越来越小，速度越来越快。测试工程师需要验证其器件的性能，最高可达500 GHz，在某些情况下甚至更高。这种元件/晶圆上的探测解决方案旨在应对高频探测的挑战，用于先进的晶圆上建模和表征，同时在50微米的焊盘上提供低而稳定的接触电阻。在500GHz时，最棘手的问题是探头周围的电场。波导无限探针的新膜GSG接触尖端设计减少了探针尖端附近的杂散电磁场。对探针附近的电磁场进行控制，可以实现高达500GHz的可重复测量，并改善探针之间的串扰性能。