晶圆用测量系统 TESLA300

用于半导体显微镜

TESLA300先进的晶圆上功率半导体探针系统是一个集成的高功率测试解决方案，能够收集精确的高压和大电流测量数据，最高可达3kV（三轴）/10kV（同轴）和200A（标准）/600A（大电流），并具有完全的操作安全性。 TESLA300提供了实验室自动化功能，并能为设备特性、大批量工程和极富挑战性的应用进行大功率电测量。它也非常适合于定制解决方案、利基生产应用和新兴市场。 TESLA300内置的AttoGuard专利技术大大改善了低漏电和低电容测量。结合FormFactor的专利TESLA FemtoGuard™热夹头技术，TESLA300提供了一个完全防护和屏蔽的测试环境。高功率的TESLA FemtoGuard卡盘还采用了MicroVac™技术，实现了低接触电阻、薄晶圆处理和最大功率耗散。