晶圆用测量系统 SiPh

显微镜

FormFactor的自主硅光子学测量助手为晶圆和芯片级硅光子学探测设定了行业标准。这个高度灵活的解决方案提供了多种测试技术，从单一光纤到阵列，从垂直耦合到边缘耦合。凭借用于高级校准的新的革命性OptoVue、智能机器视觉算法和用于黑暗、屏蔽和无霜环境的独家SiPh TopHat，该系统可以在多个温度下实现免提自主校准和重新校准。这使更快的时间获得更准确的测量，并降低测试成本。 使用单根光纤和光纤阵列作为探针，将光耦合到晶圆内外的表面和边缘耦合，产生了许多挑战，FormFactor通过其接触智能技术进行管理。与电气测试不同，光学测试使用的光纤和光纤阵列并不接触其相应的 "垫子"，即晶圆表面和边缘的光栅耦合器或面。相反，光纤需要相对于耦合器和切面进行铰接，以找到最大光功率传输的位置。 通过FormFactor工程师开发的独特的自动化技术，设定光纤或阵列尖端相对于光栅和刻面的初始位置，然后优化其位置。利用先进的图像处理和专门开发的算法，可以进行Z高度设置、光纤与面片之间的间隙，以及对探测站的定位方案进行一整套自动校准。