温度测量系统 Autonomous DC

自动晶圆用

有了FormFactor的接触智能系统，操作员可以开始测试，并在整个轮班期间、通宵甚至周末离开系统进行测量，无需任何用户干预。探头被动态校正，以获得最精确的垫子位置，以补偿温度变化时探头或设备的任何热膨胀。接触智能模块可以实现完全免提的24/7操作，使用电动探针定位器来优化小焊盘，在多个不同的温度下自动测试，以及自动探针布局间距来测试子模。单DUT探针布局和多DUT布局都可以通过测试执行软件轻松调用，实现完全自动化。接触智能系统负责所有复杂的热转换的自主管理，以及探针到焊盘排列（PTPA）的热浸泡时间优化。这导致在更短的时间内测试更多的设备，在直流测量中具有更高的可信度，从而获得更准确的数据和更快的上市时间。 当与新的CM300xi-ULN上的噪声测试设备（闪烁噪声、RTN、相位噪声）集成时，该系统为超低噪声探测提供了业界最高的测试吞吐量，在小焊盘上的接触电阻低至30µm。所有功能都经过优化，以确保超低噪声性能不受影响。