光学测量系统 CM300xi-SiPh

全自动晶圆用用于定标

集成硅光子学晶圆和芯片级探测解决方案的300毫米探测站 CM300xi-SiPh 300毫米探针台是市场上第一个经过验证的集成测量解决方案，能够在安装后立即进行工程和生产验证的优化光学测量--无需进一步开发。这种独特的自主SiPh测量助手提供了一套开创性的功能，可以精确地将光学定位硬件与探针站进行校准，并验证集成系统的性能。 结合用于高级校准的革命性OptoVue、智能机器视觉算法和用于黑暗、屏蔽和无霜环境的独家SiPh TopHat，该系统可在多个温度下实现真正的免提自主校准和重新校准。这使更快的时间获得更准确的测量，并降低测试成本。 FormFactor独家开发的SiPh-Tools和光子学控制器接口（PCI）为校准、数据收集和分析提供了强大的软件工具。这包括使用光纤和光纤阵列的所有必要算法，包括表面和边缘耦合应用。