晶圆用测量系统 EPS200MMW

显微镜

一个完整的解决方案，用于毫米波、太赫兹和67GHz及以上频率的负载拉动测量。 量身定制的解决方案，满足有源和无源元件在太赫兹频率范围内的测量需求。它实现了最高的动态范围和直接性--所有这些都不影响电气精度或机械稳定性。 EPS200MMW是一个专门的探测解决方案，它配备了有效实现精确测量结果所需的一切，包含了探测太赫兹频率的最知名方法和设计理念。其抛光的花岗岩底座消除了任何热或机械的影响，确保了出色的平面性和系统稳定性。集成的振动隔离解决方案和可选的振动隔离台在整个测量过程中保持高质量的接触。独特的SIGMA™选项无缝集成了来自领先测量仪器供应商的毫米波头和负载拉动调谐器，在不影响电气精度和机械稳定性的情况下实现了最高的动态范围和指向性。SlimVue™显微镜减轻了小垫子探测所需的高倍率光学器件的机械干扰。