晶圆用测量系统 EPS200RF

用于定标显微镜

[prisna-wp-translate-show-hide behavior="hide[/prisna-wp-translate-show-hide]一个完整的射频测量包 以应用为重点的EPS200RF是一个完整的解决方案，可实现高达67GHz的最佳射频测量。基于PM8系统平台，EPS200RF软件包包括您需要的所有硬件、软件和附件，可以自信地探测具有小至25微米x35微米焊盘的RF设备。 EPS200RF是一个专门的高级探测解决方案，配备了你所需要的一切，以便在最短的时间内获得准确的测量结果，并具有最大的信心。该系统结合了最著名的射频探测方法，频率高达 67 GHz，能够探测小至25微米 x 35微米甚至更小的焊盘。EPS200RF的系统设计非常坚固和稳定，具有铸造框架和四点支撑的单压板，使您能够实现高精确度。一个集成的振动隔离解决方案可在测量时间内保护接触质量。优化的光学器件、射频定位器的无间隙X-Y-Z运动以及具有出色的1微米重复性的接触分离驱动器，使精确的探头放置和接触重复性可与半自动系统相媲美。行业基准电缆支持最高的测量幅度和相位稳定性。从我们的Infinity Probe®、|Z| Probe®、ACP和FPC探头系列中选择一对40、50或67GHz射频探头，以获得最佳的接触性能。使用WinCal XE™软件，您可以获得专利的LRRM和LRM+方法，以获得最佳的校准精度