PM8旨在为高达200毫米的精确分析探测应用提供一个高度稳定、符合人体工程学的灵活探测平台,如器件和晶圆表征、故障分析(FA)、RF/mmW和亚太赫兹探测、光电工程和MEMS。
探针压板
- 与探针卡适配器兼容
- 探针卡和定位器可同时使用
- 空间大,可在每侧安装多个定位器
- 毫米波压盘,用于110 GHz负载拉动和其他射频噪声应用
- 用于卡盘的冷却压盘,温度最高可达300°C
压盘移动
- 45毫米的移动范围,具有最大的灵活性
- 系统高度可轻松适应从晶圆到封装板的应用
- 马达化运动选项可实现快速操作
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