温度测量系统 IMS-K-DC

晶圆用

采用Keysight SPA的全面、交钥匙集成测量系统（IMS）。 用于晶圆上的直流参数测量 FormFactor和合作伙伴Keysight的应用专家将帮助你配置一个强大的、完整的解决方案，包括。 - FormFactor探针系统。CM300xi、SUMMIT200、MPS150（其他可选） - 手动、半自动和全自动的探针站选项 - FormFactor分析探头。手动或电动定位器上的DCP探头（其他可用）。 - FormFactor直流自动化软件。自主直流测量助手，用于在小垫子上进行无人值守的过温探测 - 从-60℃到+300℃的全面过温测量和自动化 - Keysight半导体参数分析器和/或PXIe SMU。B1500A (其他可选) - Keysight自动化和建模软件。WaferPro XP, PathWave, IC-CAP - 为了完成系统：电缆、适配器、安装硬件等。 业界最具生产力和准确性的直流参数测量系统 直流参数测量是在半导体产品开发和生产的每个阶段作出决定的重要因素，几乎所有的设备类型和半导体技术都是如此。它们在先进材料研究、工艺表征、器件表征和建模、设计调试、工艺监控和生产晶圆分类中发挥着关键作用。准确和可重复的直流参数测量（IV、CV、脉冲和高功率）减少了不确定性。