晶圆用显微镜 MPS150

光学用于表面检测双目

在灵活的模块基础上，以令人难以置信的价格定制您的150毫米探测站! FormFactor为其一流的150毫米探针台引入了一个新的模块概念。这将使您更容易以令人难以置信的价格配置您的个人测头解决方案，以满足当前和未来的需求。只需选择一个基站，并根据你的需要增加特定应用的启动套件。 同轴 - 直流参数测试，低至pA水平 - 可移动的压板，高度可调整到40毫米，200微米的接触/分离行程和±1微米的重复精度 - 卡盘平台，具有可调的摩擦力和平台锁，独特的Z型卡盘调整和90毫米的拉出量 - 磁性定位器的特征分辨率为1 μm，3个线性轴带精密滚珠轴承 Triax - 低至fA级的低噪音测量 - 立体显微镜。15x-100x放大倍数，大视野，可安装相机的c型支架 - 四个三轴探针臂和高质量的三轴电缆 - 光/EMI屏蔽（可选） - fF级测量的升级选项 - TRIAX卡盘具有±8个精细的卡盘旋转，三个辅助区域，卡盘表面具有±5μm的平面度，用于稳定的接触力和超程测量 - 东/西到北/南测量只需一次设置 高达67GHz的射频测试 - 有三种探针技术可供选择。Infinity探针、ACP探针、|Z|探针 - 包括匹配的电缆和基材 - 射频卡盘±3 μm的表面平整度 - 独特的200μm压板接触/分离行程，精度≤±1μm，可重复接触 - WinCal XE校准软件