固定式测厚仪 3 nm - 100 µm | F30 series

光谱反射率台式

测量沉积率，胶片厚度，光学常数(n和半导体和电介质层k)和均一在实时与F30光谱反射系统。 例子层数 MBE和MOCVD ： 光滑和透亮或者轻地引人入胜的影片，也许被测量。 这包括实际上所有半导体的材料，从AIGaN到GaInAsP。