光学轮廓测量仪 35 nm - 3 µm | F42

薄膜分析用

Filmetrics F42可能映射影片的厚度，例如OSP，在结束one-million点，其中每一与光点直径一样小象3微米。 使用一台联合CCD照相机，活录影使容易精确定位确切的测量地点。 一旦特点在视野，在它附近画箱子分析它。 映象点宽度光点直径 厚度测量被做在被显示的每一个映象点，产生光点直径一样小象3微米。 这在甚而最狭窄允许测量被做渠道和洞。 映射 均一可以被检查这些结构以F42系统的映射的能力。 一点击，在百万个个体厚度在一张容易阅读的梯度地图能被计算和被显示。 平均厚度和其他统计自动地报告，当通知所有在射程外厚度测量的用户时。 使用善良适合标准，特点利益能被映射，当排除其他区域时