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抛光光饰机
FLP Wafer 1700 nano
CNC数控
用于微精加工
工业
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产品规格型号
组合功能
抛光
类型
CNC数控
应用
工业, 用于微精加工
所加工材料
花岗岩
其他特性
双面
旋转速度
最多:
30 rpm
(188.5 rad.min-1)
最少:
3 rpm
(18.85 rad.min-1)
产品介绍
FLP Microfinishing 公司开发了自己的 CMP 晶圆抛光机系列,用于半导体行业。新型 FLP Wafer 1700 nano 是一种晶片双面抛光机。 该设备首次安装了耐化学腐蚀的花岗岩抛光轮,并通过伺服驱动装置进行连续控制。它们确保了工具抛光的高度精确性。 除了硅原片外,还可以加工砷化镓、碳化硅、蓝宝石和其他基片。
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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)
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