紫外线激光打标机 LSU5EB落地式用于电子元件晶圆
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产品规格型号
- 工艺
- 紫外线激光
- 配置
- 落地式
- 应用
- 用于电子元件, 晶圆
- 其他特性
- 自动, 数码
- 功率
5 W
(0.01 hp)- X轴
150 mm
(5.91 in)- Y轴
150 mm
(5.91 in)
产品介绍
面向半导体行业，采用晶圆机械手和外同轴视觉定位技术，实现 2-6 英寸晶圆的全自动激光打标。
产品优势
- 自动化程度高
晶圆自动取放、自动聚焦专用机器人
- 兼容性强
配合不同的光源，可适应不同的精度等级
- 高容错性
智能可视定位 + 自动寻边，容错性高
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Specialized Products for Semiconductor Industry
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