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- Farley Laserlab/法利莱
半导体检测仪
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产品规格型号
- 应用
- 半导体
产品介绍
面对半导体产业链的上游原材料生产企业和中游晶圆生产企业，自主研发的光学明暗视野检测系统用于检测半导体原材料、外延片和图案化晶圆的外观缺陷。
产品优势
- 适用于各种晶片
适用于 4-8 英寸晶片、衬底、外延晶片和图案晶片
- 可检测各种缺陷
检测颗粒、凹坑、凸起、划痕、污点、裂纹和其他缺陷
- 高分辨率
系统分辨率1-10 μ m
- 检测速度快
无图案晶片：缺陷数量少于 200 个时，180 秒/晶圆
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