食品行业加工线 EVG®150

晶圆

EVG® 150 是一种完全自动化的抗蚀剂处理系统，可提供高通量的性能，并支持直径达 300 mm 的晶圆。 EVG150 设计为一个完全模块化的平台，可实现自动喷涂/喷涂/开发流程和高通量性能。 EVG150 保证了高度均匀的涂层和提高的重复性。 具有高地形的晶圆可以通过 EVG 的 OmniSpray 技术进行均匀涂层，传统的旋转涂层遇到局限性。 具有可 达 300 毫米的晶圆尺寸多 达六个工艺模块可 定制数量-最多 20 个烘烤/冷/蒸汽质堆叠多 达四个 FO UP 负载端口或盒装载可用模块包括旋转涂层、喷涂涂层、NanoCoat™、开发、烘烤/冷/汽/总理 EV 集团的专有模块OmniSpray® 超声波雾化技术在极端拓扑设计的保形涂层 方面提供无与伦比的工艺结果可选 NanoSpray™ 模块实现 300 微米深图案的保形涂层，纵横比高达 1:10 和垂直侧壁 广泛的支持材料 烘烤模块可用于清 洁、声波化学加工和开发的高达 250 °C Megasonic 技术，提高了过程效率，并将过程时间从几小时缩短到几分钟。经过 现场验证的机器人操作，具有双端效应器能力，确保持续高吞吐量