超高真空计的
自动取款机为超高真空计的
InFICON 倒磁控油皮拉尼计,400 和 401 MPGGG400,测量范围为 5 x 10-9 毫巴到大气层(3.8 x 10-9 托尔到大气层)。 将技术结合到一个具有一个对数模拟输出信号的紧凑型单元中,大大降低了安装、设置和集成的复杂性。
优点
组合仪-倒置磁控和皮拉尼
宽测量范围从 5 x 10-9 mbar 到大气层
无灯丝烧毁
优异的点火特性
易于清洁
FPM 或金属密封馈通
LED 指示灯,用于
对数模拟输出信号上的高电压
典型应用
高真空压力监测
蒸发和溅射系统的基本压力
在中高真空范围内一般真空测量和控制
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