薄膜电容真空计 CDG160D

带陶瓷传感器无显示

CDG160D INFICON SKY CDG160D 高温压力计是您精确测量和控制总压力的最佳选择。 CDG160D 仪器可在 160 °C 温度下进行温度控制，在苛刻的半导体和等离子体工艺中具有卓越的性能。 它们可用于 1 Torr 至 1000 Torr 的满量程范围，具有所有常见法兰类型和现场总线接口，并提供 0 至 10 V 线性、气体类型无关的压力信号。 INFICON 电容压力计使用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有耐腐蚀性。 陶瓷传感器的优点是更好的信号稳定性，更快地从大气中恢复，更短的热身时间和超凡的使用寿命。 INFICON CDG 是高品质、具有成本效益的压力传感器，适用于苛刻的半导体、等离子体和真空应用。 优点 较低的 COO（拥有成本），50％ 的预热速度，节能低功耗 易于集成，多种全秤，法兰和接口，标准配有两个设定点 简单一按钮或远程信号零命令，零偏移可调 诊断端口快速服务和维护 两年保修，加热概念和仪表保护更 长的使用寿命，即使在恶劣的等离子应用中也不会因为出色的信号稳定性和可重复性而进行长期重新校 准。符合 CE, EN, UL, SEMI, RoHS 典型应用 蚀刻, CVD, PVD 和其他半导体生产 工艺化学和腐蚀性高温工艺 需要仪表保护的一般薄膜和真空工艺