BAG402
中超高真空计
INFICON 单贝亚尔-阿尔珀特热离子计 BAG402 涵盖广泛的测量范围,从 5×10-10 毫巴到 2.7×10-2 毫巴(3.75×10-10 托尔到 5×10-2 托尔)。 选择 INFICON BAG402,实现经济实惠且可重复的过程,以便在紧凑的主动计量封装中进行基础压力测量。 独特的支撑双丝提供卓越的精度、长期稳定性和使用寿命。
优点
测量范围从 5×10-10 毫巴到 2.7×10-2 毫巴 (3.75×10-10 托尔至 5×10-2 托尔)
在 10-8... 10-2 毫巴 5%
过压检测的过程压力范围内具有优异的重复性,可保护灯丝免受过早烧伤
两个长寿命的氧化 ytrium 涂层铱细丝
自动发射电流选择降低控制复杂性
易于与板载校准数据交换传感元件,确保高可重复性
RoHS 标准
应用典型应用
半导体工艺和传送室中的压力测量
工业涂层
低至超高真空范围内的一般真空测量和控制
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