皮拉尼真空计 BPG402

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BPG402 ATM 到超高真空仪 INFICON 巴亚尔-阿尔珀特皮拉尼组合仪, BPG402-S, 作为两个仪器在一个紧凑的单元测量从 5×10-10 毫巴到大气 (3.8×10-10 托尔到大气). 结合技术可降低安装、设置和集成的复杂性。 选择 BPG402-S 配有两个氧化 ytrium 涂层铱丝，实现经济实惠且可重复的工艺，在一个经济的封装中进行基础压力测量。 带有板载校准数据的传感元件可确保更换传感器时的高重复性。 优点 极宽的测量范围从 5×10-10 毫巴到大气（3.8×10-10 托尔到大气） 在 10-8... 10-2 毫巴的工艺压力范围内 出色的重复性，5% 皮拉尼联锁保护灯丝免受过早烧伤 两个长寿命的氧化钇涂层铱细丝 可选图形显示和现场总线接口 自动高真空 Pirani 调节减少操作员的干预， 易于与板载校准数据交换传感元件，确保高可重复性 RoHS 标准性 典 型应用半导体工艺和转移室 工业涂层 一般真空测量和控制在低至超高真空范围内