薄膜电容真空计 CDG100D

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CDG100D INFICON SKY CDG100D 压力计是您精确测量和控制总压力的最佳选择。 CDG100D 仪器可在 100 °C 温度下进行温度控制，在要求苛刻的半导体和等离子体工艺中具有卓越的性能。 它们可用于 100 mTorr 至 1000 Torr 的满量程范围，具有所有常见法兰类型和现场总线接口，并提供 0 至 10 V 线性、气体类型无关的压力信号。 INFICON 电容压力计使用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有耐腐蚀性。 陶瓷传感器的优点是更好的信号稳定性，更快地从大气中恢复，更短的热身时间和超凡的使用寿命。 INFICON CDG 是高品质、具有成本效益的压力传感器，适用于苛刻的半导体、等离子体和真空应用。 优点 较低的 COO（拥有成本），50％ 的预热速度，节能低功耗 易于集成，多种全秤，法兰和接口，标准配有两个设定点 简单一按钮或远程信号零命令，零偏移可调 诊断端口 快速服务和维 护两年保修，使用寿命更 长，具有先进的加热概念和仪表保护，即使在苛刻的等离子应用中 ，也无需长期重新校准。蚀刻、CVD、PVD 和其他半导体生产 工艺化学和腐蚀性高温工艺 需要仪表保护的一般薄膜和真空工艺