薄膜电容真空计 CDG045D2

带陶瓷传感器无显示

CDG045D2 INFICON 边缘电容隔膜仪是一款高精度真空测量仪，专为恶劣的制造环境而设计。 经过验证的温度控制、耐腐蚀的超纯陶瓷传感器多年来提供卓越的跨度稳定性，并配合先进的零稳定性。 Edge 配备了 INFICON 专利的独特传感器屏蔽，可保护仪表免受不需要的工艺副产品的影响。 先进的电子设备为所有应用提供广泛的可配置信号调节功能，并提供可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念使触摸表面冷却，节省宝贵的工具空间。 INFICON 边缘是同类产品中最小的真空测量仪器。 优点 紧凑, 节省宝贵的工具空间 易于集成, EtherCAT, 各种全秤和法兰, 标准配有两个设定点 简单一按钮或远程信号零命令, 零偏移可调 诊断端口快速维修和维护 两年保修,采用先进的加热概念和仪表保护， 即使在苛刻的等离子应用中，也无法进行长期重新校 准。符合 CE、EN、UL、SEMI、RoHS 典型应用 CVD、蚀刻、PVD 和其他半导体生产进程