薄膜电容真空计 CDG025D

带陶瓷传感器数字

CDG025D INFICON SKY CDG025D 电容隔膜计系列高精度温度补偿压力计专为在恶劣的制造工具环境中提供稳定性能而设计。 先进的数字电子设备可提高仪表性能，并提供简单的操作功能，例如一个按钮零功能和设定点调整。 耐腐蚀陶瓷传感器具有出色的零稳定性，寿命长达数百万个压力循环（包括大气爆发）。 独特的传感器屏蔽（正在申请专利）可保护仪表免受工艺污染。 坚固的机械设计和数字电子设备可提高 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为上电后的快速稳定性和从大气压暴露中快速恢复设定了新标准。 优 点从 100 mTorr 的全尺寸范围... 1000 Torr 上电后快速稳定性从大气压力中快速恢复耐腐蚀陶瓷传感器优秀的长期信号稳定性温度补偿传感器免受污染零功能 宽范围电源 典型应用用 于蚀刻, CVD, PVD, ALD 的半导体制造设备 数据存储和显示制造设备 工业真空设备 一般高精度压力测量