主动式振动隔离系统 QUIET POD

半导体工业POD三合板

QUIET 主动隔离系统能中和地面振动，消除运动系统的反作用力，确保机器无故障运行，让您体验前所未有的工艺稳定性。 在半导体应用中，振动会严重影响机器的精度和生产能力。ETEL 的 QUIET 系列彻底改变了这一状况，通过将先进的运动系统和最先进的控制器与我们专有的主动隔离模块无缝集成，增强了我们的前向集成战略。这种全面的解决方案最大限度地减少了移动和静止时间，利用独特的数字控制架构抵消反作用力并保持工艺精度。 QUIET 系列采用模块化设计，配备标准 AccurET 控制器，具有无与伦比的适应性和可靠性，可根据您的要求实现最佳性能。