精准线性轴 TBS

伺服电机式滚珠丝杠高性能

TBS是高精度的单自由度直线轴。这款直线轴采用机械式轴承间接驱动，在同类产品中提供出类拔萃的精准性和精确性。此直线轴由高性能、小齿槽的伺服电机驱动，采用双编码器的反馈控制模式，不仅性能卓越，而且调试简单。先进的间接驱动控制以海德汉集团的编码器技术为核心，这款直线轴还为宏动和微动运动在全行程上提供卓越的机械性能。 该直线轴还具有独特的设计特性和选配功能，例如隔热功能、高刚性和微米级的硬限位功能，可充分满足应用对制程可靠和安全的严格要求。 该产品主要应用于半导体行业，也能满足众多不同行业的需求，满足对高精准度、高洁净度、高稳定性和高精确度的解决方案。 该产品适用但不限于以下应用：圆晶工艺控制应用，例如Overlay测量，关键尺寸和薄膜测量及光电应用。