堆叠式结构定位系统 VULCANO2

5-7 轴桥式用于检测晶片和计量

VULCANO2 是我们的龙门堆叠轴结构，结合了我们著名的铁芯电机、机械轴承和高端光学编码器，可在高动态下提供出色的几何性能。 与我们的堆叠式 CHARON2 系列相比，VULCANO2 主要具有更高的占空比和有效载荷能力。其结构紧凑，在不影响吞吐量和工作周期的情况下最大限度地提高了成本效益。 无论是标准型还是定制型，VULCANO2 都能确保稳定的可重复性和精度，即使在长时间运行时也是如此。该平台非常适合精度要求较高的应用，例如大型平板上的覆层计量和倒装芯片工艺。 特点 高达 6 个自由度 卡盘水平内置真空供应和客户信号电缆 主要特点如下 纳米级位置稳定性 确保长时间精确定位。 ISO 2 洁净室兼容性 适用于有严格洁净度要求的受控环境。 使用 Z3TM+ 组合模块进行尖端倾斜校正 可进行精确调整，实现最佳定位。 带 Z3TM+ 组合模块的粗 Z 功能 额外的 12 毫米电动升降机构，可实现晶片装载和卸载。 卡盘级内置真空供应 通过确保正确的材料处理，提高操作效率。 移动和稳定时间短 快速响应和稳定，提高生产率。