堆叠式结构定位系统 VULCANO2

5-7 轴线性半导体工业

VULANE2 是一种基于机械轴承与高端光学编码器耦合的龙门悬挂轴架构。 采用 ETEL 知名的铁芯电机，以及创新的设计原理，可以在大大改善的几何和运动性能水平下实现高动态性能。 该平台专注于简化半导体应用，可以满足所有需要解决方案以实现更高动态性的多样化市场和需求；事实上，即使是其同类产品中最好的足迹，也能够最大限度地提高其整体拥有成本价值主张。 为了达到更高的吞吐量、占空比或在不损失重复性或精度的情况下服务较重的有效载荷，客户可以自信地采用标准 VULCEN2 或派生的定制解决方案。 VULCEN2 也是一个完美的解决方案，适用于动力学、占空比和有效载荷不那么严格的所有用例，尽管定位精度必须建立很长时间：提供几个小时的 u 级导航精度不再是梦想，而是一个坚实的现实，从这个新的来自 ETEL 的产品。 该平台的使用适用于但不限于： -晶圆过程控制应用，如叠加计量、临界尺寸和薄膜计量 -后端：在大面板/基板上制造的倒装芯片工艺 特性： -紧凑的占地面积 -有效载荷高达80 kg -纳米级位置稳定性 -高动态性 -优异的双向重复性和位置稳定性 -ISO 2 洁净室兼容性