堆叠式结构定位系统 CHARON2

6轴单轴3轴

CHARON2 平台建立在强大、可靠和优雅的堆叠架构之上，设计时考虑了模块化和可扩展性原则。 它从独立的 X 轴开始到最多 7 轴的完整运动系统。 数据表的性能可用于不同的电子配置。 它与当前和未来的模块和选项的兼容性允许覆盖最广泛的应用空间和使用案例。 这个灵活、可扩展、模块化和可升级的平台为所有半导体应用和其他市场的许多用例提供了入门级别，例如医疗、制药、材料科学和其他市场。 CHARON2 平台在所有服务市场中不断发展，支持 OEM 的产品寿命延长以及升级路径。 其 ±1 µm 水平的位置精度与卓越的双向重复性和高动态性相结合，可支持所有技术和行业领域的应用开发。 特性 -总行程：高达 650 毫米 x 410 毫米 -9 个标准 x 2 个电子产品 = 18 个配置作为现成产品 -紧凑的占地面积 -有效载荷高达 30 千克 -包含的选项和功能：轨道颗粒吸入（ETEL 专利），定制信号，气动线，以及更多。 -ISO1 洁净室兼容性 -采用 Z3TM 组合模块进行倾斜校正 -夹头级内置真空供应 -短移动和建立时间 主要规格 -位置精度：XY 为 ±1 µm，T 为 ±3 弧秒 -位置稳定性：XY 为 ±2 nm，T 和 ± 为 ±0.02 弧秒精细 Z 值为 3 nm -双向重复性：XY 值为 ±0.4 微米，T 值为 ±2 弧秒，精细 Z 值为 ±0.03 微米