对于最苛刻的应用,ETL 开发了一种独特的超高性能位置控制器系列,称为 AccuRret VHP。 该系列产品配备特定的硬件和软件,最大限度地提高性能。
AccuRret VHP 位置控制器与所有其他的 AccuRret 控制器兼容,可专门用于多轴运动系统最苛刻的轴。 事实上,它与 AccuRET 模块化中使用的分散式架构相同。 这样,机器控制软件的一个重要部分就能够位于轴上。 除了 ETL 控制器的优势,如高计算能力、快速和实时通信总线以及最先进的控制算法,ETL 的 VHP 系列还提供出色的信号噪声比。
AccuRret VHP 成功应用于以下领域:
-过程控制-晶圆检测
-光刻
-晶圆和芯片级包装
-测试和控制设备
---