主动隔振器抗震支架 QuiET

矩形

QuiET主动避振系统是一款全新避振系统，它能消除运动平台上工作扰动导致的工作台和地面在6个自由度方向上的振动。 大多数半导体行业的高端应用设备都十分复杂，需要用一定方式连接运动平台的大理石。 因此，大理石的任何振动都将在工艺层面导致更大的误差和消耗更长的稳定时间。ETEL避振解决方案让高效避振从此垂手可得！ QuiET系列产品进一步完善ETEL的新一代一体化战略。从现在起，ETEL的先进运动平台不仅包括先进的运动系统及相应的先进运动控制单元，还包括ETEL特有的主动避振模块。ETEL因此成为能提供如此宽广产品的唯一运动系统供应商！ ETEL特有的建立在1 Gb TransnET之上的低噪音传感器和全数字化系统及确定性的运动控制系统能最大限度加快运动速度并缩短稳定时间。得益于加速度前馈精度高达99%，运动平台产生的振动对大理石的影响不足1%！因此，主动避振系统上的大理石质量可较轻，整机尺寸和质量也能较小和较轻，整个工艺效果将受益于更安静更平稳的工作环境。