组合模块定位系统 ZTXY 轴立式用于检测晶片和计量
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产品规格型号
- 轴数量
- XY 轴
- 构造
- 立式
- 应用
- 用于检测晶片和计量, 用于无菌室
- 其他特性
- 组合模块
产品介绍
ZT箱是一个一体化的二维模块，有Z轴和西塔轴。Z轴方向支持两种运动，即粗大位移和精细位移运动。该模块可单独使用，也可安装在XY平台顶部。该模块特别适用于圆晶生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。
特点
- 无限位转动
- 内置圆晶夹盘级的真空功能
- 内置重心补偿器
- 提供真空功能，兼容ISO1超净车间
- 圆晶装件/卸件应用的12 mm行程Z轴粗大位移以及调焦应用的4 mm行程的精细Z轴位移
- 可提供无Z轴粗大位移版
- 极高质量的Z轴抖动及运动和稳定性能
