GateKeeper® 200M大块煤气净化器
高流动气体洗净
一贯地提供ultrapure气体
设计为与CDA或惰性气体的使用
防止从液体储存箱和不一致的供应气体质量的杂质钉
不发布也许沾染过程的碳氢化合物
用途周围温度洗净技术-没有需要的力量或热
高流动气体洗净
建筑材料:
316L不锈钢, electropolished 10镭
媒介:
模型SS200MI : 金属的镍
模型SS200MZ : 无机
被净化的气体:
模型SS200MI : N2,他, Ne, Kr, Ar,卤烃,轻的碳氢化合物
模型SS200MZ : CDA
出口纯净:
模型SS200MI : N2 <1 ppb H2, CO,二氧化碳; <100 ppt (部分每兆) H2O, O2
模型SS200MZ : <1 ppb H2S、H2O、二氧化碳、胺物、酸性气和酒精; <100 ppt氮化物; <10 ppt NH3; <1 ppt NMHC,硅氧烷,二氧化硫
出口微粒滤清:
20 μm
最大压差:
1379年kPa (200 PSID)
极小的工作压力:
101 kPa (14.7 PSIA)
最大流率:
20000 SLPM
有名无实的流速:
3500 SLPM
泄漏规定值:
4 × 10-9 atm cc/sec。
维护产品效率的污染物的最大入口挑战:
10 ppm (部分每百万)
终身:
一年以与1 ppm湿气的入口挑战的有名无实的流速
最高运行温度:
65°C (149°F)
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