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过滤式气体净化器
GateKeeper® Hydride
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产品规格型号
类型
过滤式
产品介绍
GateKeeper®氢化物煤气净化器 有效,不伤环境的气体洗净 设计为与NH3、AsH3、PH3、SiH 4和GeH4的使用。 净化器去除O2、二氧化碳、H2O和氧化作用副产物次级ppb (部分每十亿)水平。 防止大块煤气净化器突破,从液体储存箱的杂质钉,圆筒changeouts和意想不到的污染物在过程中 不发布也许沾染过程的碳氢化合物 用途周围温度洗净技术-没有需要的力量或热 横跨净化器的低压下落
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