过滤式气体净化器 GateKeeper®

“ GateKeeper®腐蚀性煤气净化器 有效的气体洗净 一贯地提供超纯气体 设计为与HCl、Cl2、HBr、BCl3、SiCl4和SiF4的使用。净化器取消湿气对1 ppb (部分每十亿)在N2。 防止大块煤气净化器突破，从液体储存箱的杂质钉，圆筒changeouts和意想不到的污染物在过程中 不发布也许沾染过程的碳氢化合物 使用周围温度洗净技术–没有需要的力量或热 横跨purifiers \ /html的低压下落”