脱气设备 LiquidLens™ LLD2

LiquidLens™ LLD2 UPW 脱气系统 UPW 脱气用于浸入式 光刻扫描仪的 UPW 脱 气系统 LLLD2 系统通过减少溶解气体和监测 UPW 质量提供流体透镜的稳定性和纯度。 流 通过安全警报和泄漏传感器确保过程和机器安全， 实时监控工具和客户中央监控系统的关键参数。