气体过滤器 Wafergard® III NF-30

颗粒隔膜在线

“ Wafergard® III NF-30轴向气体过滤器 超纯气体冷却系统滤清的优越属于颗粒的滤清 最干净，可利用多数高效率的纯金属的过滤器 给予专利的镍过滤器膜提供优越耐腐蚀性和优秀兼容性与惰性和易反应的气体。(没有推荐了为与CO、O3和低级氢化物掺杂物气体的使用。) 高温和动态压力应用的理想 典型地使用为流程30个SLPM 材料： 滤波元件：给予专利的，被焊接的镍膜滤器。 住房：Electropolished F20不锈钢住房 表面结束内部：=5 μin镭 氦气泄漏规定值：合格的2' 10-10 atm cc \ /sec。被测试的1' 10-9 atm cc \ /sec。 顺流洁净： Particles1：少于0.03微粒\ /Liter (=0.003 μm 操作条件： 最大入口压力：70酒吧(1000 PSI)在100°C 最大批转\ /reverse压差：10酒吧(150 PSID) 最高运行温度：在35酒吧(500 PSI)的惰性气体400°C；腐蚀性和易反应的气体：在70酒吧(1000 PSI) \ /html的50°C”