空气过滤器 SilverSet™

活性炭化学应用褶皱

“ E2600住房的SilverSet™化工过滤器 先进的扫描器光学和抵抗保护 在入口过滤器的活性碳媒介防止PGMEA转换向乙酸，可能导致处理变异和材料腐蚀的光致抗蚀剂 Asymetric过滤器配置防止HDMSO转换向TMS，造成扫描器透镜污秽 包含高被激活的碳加上先进的plymetric媒介的杂种过滤器去除各种各样的污染物包括酸、基地和可凝结的有机物 在99%撤除效率的2年的过滤器终身酸、基地和可凝结的有机物的在典型的清洁的房间照片海湾情况 在刚性，深刻的框架的被打褶的过滤器设计优选最大运用和效率的有效部分表面 与抽样口岸的interstack的连续过滤器布局提供保护的多个水平并且考虑到过滤器性能监测和早突破侦查 Entegris分析服务确认的化工滤清表现，提供保证所有过滤器表现要求核实与支持data. \ /html”