液体过滤器 Planarcap® LPX
胶囊深度用于泥浆

液体过滤器 - Planarcap® LPX - Entegris - 胶囊 / 深度 / 用于泥浆
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产品规格型号

过滤介质
液体
所用技术
胶囊
应用
深度
流体规格
用于泥浆
其他特性
一次性, 褶皱
工作压力

2.7 bar
(39.16 psi)

过滤尺寸

最多: 5 µm

最少: 1 µm

产品介绍

...narcap® LPX 一次性过滤器 用于氧化物和铜 CMP 的二氧化硅和氧化铝磨料的使用点一次性过滤器 专为二氧化硅和氧化铝浆料溶液而设计 - 通常用于铜、ILD、STI 和钨 CMP 应用中 提供从 1 微米到 5 微米的各种留着率等级 满足使用点 CMP 浆料过滤应用的需要 提供带 Flaretek® 接头的一次性过滤器 全聚丙烯结构,带褶式过滤介质 材料 介质深度褶皱聚丙烯 核心、保持架和外壳聚丙烯 连接: 入口/出口:3/8 英寸或 1/4 英寸 Flaretek® 接头 通气/排水:1/4 英寸 Flaretek® 接头* 最大工作条件:1/4 英寸 Flaretek® 接头 最大工作条件: 最大工作压力: 0.27 兆帕(2.7 巴,40 PSI),25°C 时 最大正向/反向压差: 0.27 兆帕(2.7 巴,40 PSID),20°C 时 最高工作温度:40°C (104°F) 备注: *零件号 SKNP 010L2F 可提供 1/8" MNPT 排放口/排水口

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。