用于 Ebara® 的带聚丙烯芯的 ...narcore® PVA 刷子
模压穿芯结构可快速、稳定地安装在工具上
模制穿芯结构可快速、一致地安装到工具上 - 消除停机时间,消除对齐和间隙问题 - 提高系统吞吐量,并且 PVA 保持尺寸稳定 - 在使用过程中不会失去同心度。
高纯度 PVA 的可萃取水平低,可减少晶片上的颗粒数量
闭模技术使 ...narcore 刷子设计能够平衡通过刷子的流量,消除了标准设计中由于通过刷子长度的流量不一致而导致性能不可重复和不可预测的风险。
结构材料:
芯/轴全聚丙烯
刷子聚乙烯醇 (PVA)
防腐剂:0.5% H2O2
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