气体调节减压器 TESCOM™ 12

隔膜不锈钢低压

12 系列是一种微型超高纯度工业气体 （IGS）/VCR® 减压型调压器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。 进口压力为 150 psig / 10.3 bar，出口压力为 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速可达 120 SLPM。 非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。 规格 材质 -阀膜：Hastelloy® -阀座：PCTFE -阀杆：Hastelloy® -其他部件材质：316L VAR 不锈钢 流通能力 -标准：Cv = 0.04 -高流量：Cv = 0.08 重量 -VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg -A 型：1.08 lb / 0.5 kg 其他信息 -要获得为客户定制的型号或完整的系统解决方案，请联系当地的销售办事处。 特点 -适用于高级 OEM 气体系统的理想产品 -高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 （MFC） 性能 -适用范围广，性能优越 -流量：2 SCFM 至 120 SLPM -在微型元件中提供卓越的压降和重复性 -阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性 -内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸 -符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格