气浮回转工作台 EZ-0779

电动可倾斜

EZ-0779 旋转台具有高轴向负载能力和低于 100 nm 的轴向/径向误差运动，最初是为晶圆加工而开发的；它适用于各种应用。直接驱动式转台配备了大功率水冷扭矩电机。此外，还可选配最多 6 个空气/真空通道的旋转馈入件。测量系统（Numerik Jena RIK4）有 18,000 条测量线，可选择提供 5、10、50 或 100 的细分系数。插值越小，速度越快，插值越大，重复精度越高。安装位置没有限制。 应用晶片研磨、晶片减薄、测试系统、对同步和/或定位精度要求较高的应用场合