气浮回转工作台 EZ-0779
电动可倾斜

气浮回转工作台
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产品规格型号

驱动类型
电动
配置
可倾斜
其他特性
气浮
直径

300 mm
(12 in)

产品介绍

EZ-0779 旋转台具有高轴向负载能力和低于 100 nm 的轴向/径向误差运动,最初是为晶圆加工而开发的;它适用于各种应用。直接驱动式转台配备了大功率水冷扭矩电机。此外,还可选配最多 6 个空气/真空通道的旋转馈入件。测量系统(Numerik Jena RIK4)有 18,000 条测量线,可选择提供 5、10、50 或 100 的细分系数。插值越小,速度越快,插值越大,重复精度越高。安装位置没有限制。 应用晶片研磨、晶片减薄、测试系统、对同步和/或定位精度要求较高的应用场合

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PDF产品目录

EZ-0779
EZ-0779
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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。