线性电机驱动线性轴 EZ-5504

精准紧凑型可调节

EIZENBERGER 的 EZ-5504 聚焦轴采用了全新的创新轴概念。其外部特征是 99 x 99 x 80 mm（长 x 宽 x 高）的紧凑尺寸和一个约 35 mm 的中央连续开口，可用于光学元件。无滑粘空气轴承可在 18 毫米的整个行程范围内实现最高精度，重复精度可达纳米级。除了极低的位置误差外，该轴的低倾斜误差也特别值得一提。聚焦轴具有永久磁性重量补偿功能，设计有效载荷为 250 g。测量系统采用分辨率为 1 nm 的雷尼绍测座和 BiSS-C 接口。 应用：聚焦轴适用于光刻、掩膜曝光、扫描应用或一般光学元件和传感器定位领域的高精度应用。由于尺寸小、系统重量轻，该轴可以很容易地集成到许多应用中。空气轴承和所使用的材料决定了聚焦轴可以在无尘室中使用。