线性位移台 EZ-4360 ZC
旋转线性电机驱动双轴

线性位移台
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产品规格型号

方向定位
线性, 旋转
类型
线性电机驱动
轴数量
双轴
其他特性
精准, 气浮
运行行程

310 mm
(12.205 in)

速度

0.5 m/s
(1.64 ft/s)

重复精度

0.5 µm

载荷

18 kg
(39.68 lb)

产品介绍

ZC 运动系统 EZ-4360 是为测量旋转对称部件而开发的运动系统。测试对象在旋转台上定位和旋转,同时测量头通过高精度气浮轴垂直移动。线性轴通过无摩擦气浮缸实现重量解耦,最多可承载 7 公斤的重量。一个重要的特点是可以高精度地调整线性轴与旋转轴的平行度。机床床身由花岗岩制成。通过将花岗岩固定在空气弹簧上,实现了与地面的良好脱钩。

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