倾斜式位移台 EZ-0730 XY 轴线性电机驱动双轴
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, 倾斜式
- 类型
- 线性电机驱动
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 精准, 高速, 气浮
- 运行行程
500 mm, 850 mm
(19.685 in, 33.465 in)- 速度
500 mm/s, 1,500 mm/s
- 重复精度
20 nm, 40 nm
- 载荷
8 kg, 50 kg
(17.64 lb, 110.23 lb)
产品介绍
智能设计使 EZ-0730 平台具有最大的刚性和出色的可重复性，最大限度地减少了轴串扰。
内置功能
脉冲去耦，即使在高加速度下也能最大限度地减少串扰。
下滑板采用碳材料，重量得到优化。
使用热膨胀接近 0 的碳结构，将有害的温度影响降至最低。
集成的 11 区平面真空夹紧装置具有极高的卡盘刚性，并采用精密的压力膜技术进行高精度尖端/倾斜调整。
采用新颖的拖链概念，将来自能量链的干扰力降至最低。
无铁驱动和高精度光栅尺（海德汉 LIP6 G0）。
机床床身由花岗岩制成。轴可根据客户要求定制
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PDF产品目录
EZ-0730
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