手動ゲートバルブ
BGVゲートバルブはベローズシールされたステンレス製ゲートバルブで、高い気密性と真空システム内の炭化水素を最低限に抑える必要がある用途に使用されます。主に半導体工場の地下室にあるポンプの隔離用に設計されていますが、BGVゲートバルブは、開口時に1 barの差圧が望ましい他の用途にも最適です。
これらは、1.2 barの絶対圧から1 x 10‑8 mbar(1.2 x 105~1x10‑6 Pa)の圧力範囲で使用するように設計されています。BGVゲートバルブは、いずれの方向でも1.2 barの絶対圧に耐えるため、バルブを閉じた状態でポンプ上部の真空ラインを排気できます。BGV手動バルブには、アッセンブリーの側面にゲート位置を視覚的に表示し、バルブが開いていることを示します。
どちらの方向にも1.2 barの絶対圧に耐えることができます。メンテナンス中もポンプを作動させたままにすることで、再起動の問題を回避します。
ステンレス製の構造と堅牢な設計
過酷な環境での長い耐用年数と信頼性
空気圧ソレノイドと事前配線オプション
設定済みのシンプルな「プラグ&プレイ」インストール
シンプルなグリースフリーシーリングメカニズム。粉塵の多いプロセスでの粒子による損傷を最小限に抑えます。