抽送水蒸汽
Polycold MaxCool 4000 H 低温深冷机可有效捕获高真空系统残余气体中占比达 65% 至 95% 的水蒸汽。
水蒸汽通常是存在的高活性污染物。借助 MaxCool 低温深冷机,您可以将现有系统的产品处理能力提高 20% 以上,并提高沉积质量。
MaxCool 的优势
高真空抽空时间缩减达 75%
水蒸气的高速抽取:工作区域内 10,000 至 220,000 l/s
产品处理能力提高 20% 以上
加工过程中水蒸汽分压越低,薄膜质量越高,附着力越好,沉积的重现性越好
在性价比方面优于采用液态氮冷却的 Meissner
通过电源管理降低使用成本
适用于多种流程的高容量冷却和加热
在将 MaxCool 低温深冷机添加到您的真空系统中后,它可显著减少抽空时间并提高产品处理能力。MaxCool 会在“启动”后的几分钟内抽出水蒸汽,并能够在不到四分钟的时间内除霜,从而实现真正的快速循环能力。它还有一个选项快速冷却转冷却,可消除除霜后的等待时间。对于您的系统而言,这意味着每个班次可以拥有更多的生产周期。