气体冷水机组 MaxCool 2500 L

水快速压力

抽送水蒸汽 Polycold MaxCool 2500 L 低温深冷机可有效捕获高真空系统残余气体中占比达 65％ 至 95％ 的水蒸汽。 水蒸汽通常是存在的高活性污染物。借助 MaxCool 低温深冷机，您可以将现有系统的产品处理能力提高 20% 以上，并提高沉积质量。 MaxCool 的优势 高真空抽空时间缩减达 75% 水蒸气的高速抽取：工作区域内 10,000 至 140000 l/s 产品处理能力提高 20% 以上 加工过程中水蒸汽分压越低，薄膜质量越高，附着力越好，沉积的重现性越好 在性价比方面优于采用液态氮冷却的 Meissner 通过电源管理降低使用成本 适用于多种流程的高容量冷却和加热 在将 MaxCool 低温深冷机添加到您的真空系统中后，它可显著减少抽空时间并提高产品处理能力。MaxCool 会在“启动”后的几分钟内抽出水蒸汽，并能够在不到四分钟的时间内除霜，从而实现真正的快速循环能力。它还有一个选项快速冷却转冷却，可消除除霜后的等待时间。对于您的系统而言，这意味着每个班次可以拥有更多的生产周期。 MaxCool 采用 Polycold 混合制冷剂，并按照 Meissner 冷阱原理工作。水蒸汽在被称为 Meissner 盘管的低温冷却表面上通过冷凝被捕获。Meissner（低温盘管）直接安装在真空腔中，因此导热性不受端口、歧管、阀门和挡板的限制。低温盘管易于安装，并且可以调整以适配任何系统 它不需要配备高真空阀。