残余气体分析仪 RGA

工艺流程压力实时

残余气体分析仪 高性能和可操作性的出色平衡 RGA 残余气体分析仪 我们的残余气体分析仪系列包含三种型号，无论您选择哪种型号，它们都操作简单、效果显著，令您在仪器的性能和效率方面享有出色的残余气体分析体验。 独特优势 总压力测量 实现完整的制程控制 双真空计丝 实现高可靠性和长运行时间 设备显示屏上 用于在不使用 PC 的情况下进行基本测量 客户可自行更换部件 脱气功能 离子源和 EM 的保护 所有 RGA 均配备易于使用的专用软件 可让您通过笔记本电脑实时跟踪您的流程，并对多达 16 台不同的设备进行详细分析。 对于那些想快速查看结果的人来说，这些设备均配有特别的板载显示屏，无需通过笔记本电脑连接即可显示主要气体类型以及系统的整体压力。 RGA 能对气体及其成分进行分析，此为以下工艺所需： 泄漏检测和发现 查找并识别污染物 确认气体纯度 产品/流程质量保证 工艺与设备诊断和控制 优化工艺性能和产量 满足各种应用的出色解决方案： 半导体工艺 薄膜和显示屏 真空热处理 真空冷冻干燥 研发 高能物理