罗茨泵真空泵 iXM

干式单级气体

更环保、更可靠，总拥有成本更低 我们创新的干式泵系列拥有旨在改善半导体和电子制造环境的尖端技术。 每个系列都经过精心设计，在环境绩效、严苛条件下的可靠性以及轻负荷应用中的敏捷性等方面拥有优势。 通过提升正常运行时间、减少对环境的影响以及良好的成本效益，Edwards iXM 低能耗系列干式泵可为您的关键应用带来真正的制程改进。 高效的根源机制可将输入功率减少多达 60％，从而减少对环境的影响并降低总体使用成本 气体阻隔技术和热设计方面的改进使产品的抗腐蚀性比我们之前的系列提高了四倍 出色的粉尘处理功能可为多层蚀刻工艺提供高可靠性，并延长真空泵使用寿命 降低 CVD 工艺的功耗 紧凑轻巧的设计，加上非常低的噪声和振动，让您尽享多用途的便利 iXM 系列采用 XCEDE 技术，增强了耐腐蚀性。