涡轮分子真空泵 iXL

干式单级等离子

iXL 系列低能耗紧凑型干式泵适用于轻型应用，例如晶片处理、PVD 和计量等。 快速腔体抽空和低功耗 iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵是轻型应用中非常小、非常安静的泵 iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固，专门设计用于电介质（氧化）蚀刻和其他类似应用 iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵具有高抽取速度和低能耗的特点 iXL900R 适用于真空锁室抽空应用，速度优于同类产品。这款新型的泵特别适用于等离子蒸汽沉积 (PVD) 应用的大型真空锁室的抽空，可帮助客户显著降低运营成本并缩短安装时间。此外，该泵可减少每个真空锁室所需的泵数，进而可缩短安装时间、降低系统化成本、减少维护以及耗电和耗气量。 “绿色模式”可减少闲置期间的公共设施使用、降低成本并有助于提高环境绩效