涡轮分子真空泵 iXL 干式单级等离子
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产品规格型号
- 所用技术
- 涡轮分子
- 润滑
- 干式
- 压力级数
- 单级
- 应用
- 等离子
- 其他特性
- 紧凑型, 低噪, 低耗能
- 真空范围
0.01 mbar
(0 psi)- 流量
110 m³/h
(3,884.61 ft³/h)
产品介绍
系列低能耗紧凑型干式泵适用于轻型应用，例如晶片处理、PVD 和计量等。
快速腔体抽空和低功耗
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵是轻型应用中非常小、非常安静的泵
iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固，专门设计用于电介质（氧化）蚀刻和其他类似应用
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干式泵具有高抽取速度和低能耗的特点
iXL900R 适用于真空锁室抽空应用，速度优于同类产品。这款新型的泵特别适用于等离子蒸汽沉积 (PVD) 应用的大型真空锁室的抽空，可帮助客户显著降低运营成本并缩短安装时间。此外，该泵可减少每个真空锁室所需的泵数，进而可缩短安装时间、降低系统化成本、减少维护以及耗电和耗气量。
“绿色模式”可减少闲置期间的公共设施使用、降低成本并有助于提高环境绩效
